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    痕量级AMC空气分子污染物监测系统

    DK-S4500F-AMC

    Ma,Mb(NH3,HCL,HF等)监测---半导体行业应用

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     概述

    在深紫外(DUV)及更先进的光刻工艺中,器件的特征尺寸不断缩小,对工艺环境的纯净度提出了近乎苛刻的要求。实践表明,氨气(NH3)、盐酸(HCl)、氟化氢(HF)等痕量空气分子污染物(AMC),即使浓度低至ppb级,也足以在晶圆表面发生化学反应,导致光刻胶中毒、关键尺寸(CD)漂移或缺陷生成,直接威胁产品良率与可靠性。

    为此,我们推出DK-S4500F-AMC空气分子污染物监测系统。本系统基于腔增强吸收光谱(CEAS) 这一前沿光学检测技术,能够对NH3HCl、HF等关键污染物进行sub-ppb级、秒响应的连续精准监测。

     

    原理

    DK-S4500F-AMC一举攻克监测难题,可对深紫外光刻尤为敏感的NH3HCl、HF实现痕量级(sub-ppb)实时测量,并集成增强离子迁移谱EIMS检测MA、紫外脉冲荧光法测NH3NOx、增强型GC-FID/GC-PID检测MC构成完整解决方案。

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    l EIMS离子迁移谱检测Ma(HF、HCl、HNO3等)

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    l 紫外脉冲荧光法检测NH3NOX

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    l 增强型GC-FID/GC-PID检测MC(DOP、DBP、DEP、BHT、TVOCs等)

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    特性

    l sub-ppb级实时测量

    l 苛刻危险环境下可连续无人值守测量

    l 长期稳定性和可靠性

    l 
    固态电子器件无可移动部件

    l 低维护量、长免维护期

    l 出厂标定

    l 单组份/多组份痕量级气体测量

    l 4~64通道多点采样

    l 独立可编程报警、继电器设置

    l 可独立编程采样点顺序和吹扫通道

    l 开放的通讯协议,便于二次开发与集成

    l 电源断电或者断闸,数据无丢失

    l 触摸屏允许数据显示、表格显示、曲线显示等

    l  ¼ “外径接口

    l 管线:PFA、PVDF

    l 距离采样点最长管线:80m

    l 可远程操作或可视化操作。

    l 校准报告

    l 通过采样器或者快速回路泵采样

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    应用

    l 深紫外(DUV)及先进光刻区AMC实时监控

    l 化学机械研磨(CMP)与湿法刻蚀区域酸性/碱性气体监测

    l 离子注入与薄膜沉积设备区域AMC控制

    l 厂务送风与回风系统AMC溯源与过滤器管理

     

    操作界面

    图标和数值                                                 趋势圈和数值                                  

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    技术参数

    量程

    根据气体不同,量程可定制

    量程比

    1:100000

    分析下限

    Sub-ppb

    准确度

    2%

    响应时间

    每个通道5

    标定

    出厂标定完成

    检测限(代表性)

    HF

    0.1ppb

    HCL

     0.1ppb

    TA

    0.1ppb

    NH3

    0.1ppb

    N0x  

    0.1ppb

    DOP

    0.1ppb

    DBP

    0.1ppb

    DEP

    0.1ppb

    BHT

    0.1ppb

    NMP

    0.1ppb

    工作条件

    温度范围

    0℃+45℃

    湿度范围

    低于90%RH,无凝露

    压力范围

    大气压

    储存条件

    温度范围

    -20℃+60℃

    采样条件

    温度范围

    0+49℃无凝露

    湿度范围

    露点+8℃或更高

    颗粒物

    <1μm

    尺寸

    根据配置

    重量

    根据配置

    气体接口

    PFA PVDF¼ “外径接口,可根据后续需要扩展多种规格接头

    电气接口

    工作电源

    115-230 Vac 50/60 Hz

    通讯接口

    标配 : RS232 , 可选 : 4-20 mA, Modbus 

    检测仪配备两路采样接口,配有粉尘颗粒物过滤器

    内置抽气泵,最远距离为80米;内置带有7"前置显示器的嵌入式计算机

    数据存储约2GB,存储数据量可达2年(连续采样检测间隔15s)

    测量结果可以通过U盘,USB口,Ethernet网口,串口导出

    自动去除包括水汽、颗粒物等采样气体的干扰

    可配置多点采样器,12/24/32/64通道可自由选择

    多点采样器使用低吸收率的SiO2涂层的不锈钢阀组

    多点采样器每个通道选择时间可以从199min


    咨询电话 010-8243-3533
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